Polysilizium,
Monosilan & TCS

Silicium ist ein häufiger Bestandteil vieler Mineralien. Es ist nach Sauerstoff das zweithäufigste Element der Erdkruste. Elementares Silicium wird in unterschiedlichen Reinheitsgraden verwendet und klassifiziert. In der Solarindustrie wird Sisg (solar grade) hergestellt und verarbeitet. Die Verunreinigung ist kleiner als 0,0001 %. Zunehmend kommen auch höhere Reinheiten bis hin zu Sieg (electronic grade) in der Solarindustrie zur Anwendung.

Zu dem Leistungsportfolio der EPC Group zählen neben der Planung und Ausrüstungslieferung für TCS Synthese- sowie Vent-Gas-Recovery-Anlagen auch Rektifikationseinheiten, bei denen das Know-how erfahrener Experten gefragt ist. Zudem liefern wir Ihnen die Nebenanlagen, Infrastruktursysteme sowie Bauplanungsleistungen für komplette Fabriken. Produktionsverfahren für TCS und Polysilicium Um elementares Silicium im industriellen Maßstab zu gewinnen, wird Siliciumdioxid mit Aktivkohle in der Schmelze reduziert. Dieses Silicium ist ausreichend sauber für metallurgische Zwecke. Um polykristallines Silicium (Sisg) zu erhalten, muss das Silicium aber weiter gereinigt werden. Dies geschieht z.B. mit Hilfe des, von EPC weiterentwickelten, Siemens-Verfahrens.

Hierzu wird im ersten Schritt das metallurgische Silicium mit gasförmigem Chlorwasserstoff versetzt. Das daraus entstehende Trichlorsilan wird vom ebenfalls anfallenden Wasserstoff getrennt und in weiteren Destillationsschritten gereinigt.