Das Verfahren zur Herstellung von Reinstsilizium aus metallurgischem Silizium basiert auf der thermischen Zersetzung von hochreinen, rektifizierten Chlorsilanen oder Silanen zu Silizium mit Abtrennung und Rückführung gasförmiger Nebenprodukte. Die herkömmliche kommerzielle Technologie durchläuft die Stufe der Herstellung von Trichlorsilan in einem Wirbelschichtreaktor aus metallurgischem Silizium und Chlorwasserstoff. Anschließend wird das Trichlorsilan einer mehrstufigen Rektifikation unterzogen, bis die für die gewünschte Anwendung erforderliche Reinheit (Solar Grade oder Electronic Grade) erreicht ist.

Bei der thermischen Zersetzung von Trichlorsilan in einem CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition) zu Silizium bei 900 °C entsteht ein Gemisch gasförmiger Nebenprodukte, die für eine Rückführung (Vent Gas Recovery) in den Prozess aufbereitet werden müssen. Wir haben den Prozess zur Herstellung von Reinstsilizium aus Monosilan optimiert. Hierdurch wird eine deutlich höhere Effizienz erreicht, da die Temperaturen nur noch auf ca. 600 °C liegen. Die Abscheideeffizienz wird auf fast 100% gegenüber den nur 25% herkömmlicher Verfahren gesteigert. Monosilan wird durch Disproportionierung von Trichlorsilan und Rückführung der Disproportionierungsprodukte gewonnen.
Trichlorsilan wird bei beiden Verfahren benötigt.

Das Monosilan-Synthesegas wird vor der Weiterverarbeitung oder Abfüllung in vakuumisolierten Behältern zwischengelagert. Die Behälter sind mit einem Druckaufbauverdampfer und einer internen Kühlschlange zur Erleichterung der Kühlung ausgestattet.

• Biogasanlagen für industrielle Anwendungen
• Ganzheitliche Biodieselanlagen einschließlich
  Ölgewinnung und Pharma-Glycerin-Anlagen
• Ganzheitliche Bioethanol-Anlagen einschließlich
  Reststoffverwertung und Biogaseinheit
• Biomasseanlagen, z.B. auf Basis von Holz oder Stroh